X荧光光谱仪是用晶体分光而后由探测器接收经过衍射的特征X射线信号。如果分光晶体和控测器作同步运动，不断地改变衍射角，便可获得样品内各种元素所产生的特征X射线的波长及各个波长X射线的强度，可以据此进行定性和定量分析。

　　该仪器产生于50年代，由于可以对复杂体系进行多组分同时测定，受到观注，特别在地质部门，先后配置了这种仪器，分析速度显着提高，起了重要作用。如今，X荧光光谱技术已成功应用于环境、食物链、动植物、农产品、人体组织细胞及器官、生物医学材料、组织细胞、医学试剂、动植物器官、代谢产物中的无机元素测定。

　　X荧光光谱仪引起样品误差的原因有下面这些：

　　1、样品物理状态不同，样品的颗粒度、密度、光洁度不一样；样品的沾污、吸潮，液体样品的受热膨胀，挥发、起泡、结晶及沉淀等。

　　2、样品的组分分布不均匀 样品组分的偏析、矿物效应等。

　　3、样品的组成不一致 引起吸收、增强效应的差异造成的误差

　　4、被测元素化学结合态的改变 样品氧化，引起元素百分组成的改变；轻元素化学价态不同时，谱峰发生位移或峰形发生变化引起的误差。

　　5、制样操作 在制样过程中的称量造成的误差，稀释比不一致，样品熔融不*，样品粉碎混合不均匀，用于合成校准或基准试剂的纯度不够等。

　　X荧光光谱仪可以测量的样品种类有固体块状样品、粉末样品和液体样品等。

　　1、固体块状样品，包括黑色金属、有色金属、电镀板、硅片、塑料制品及橡胶制品等，其中金属材料占了很大的比例。

　　2、粉末样品，包括各种矿产品，水泥及其原材料，金属冶炼的原材料和副产品如铁矿石、煤、炉渣等；还有岩石土壤等。

　　3、液体样品，油类产品、水质样品以及通过化学方法将固体转换成的溶液等。