X荧光光谱仪属于无损害的测量仪器设备，它的优势就是在测量样品时不需要提前进行特殊的处理即可测量的仪器，能够迅速获得测量的结果。但对于样品形状、大小能够满足测量的需求，以及是否存在干扰元素都将对X荧光光谱仪测量结果的精准度造成一定的影响。

　　样品大小应依据X荧光光谱仪光斑的大小进行区分，光斑可以*照在样品上并且其的厚度也能达到相应的要求，能直接放置在测试室当中进行测量。光斑无法直接照在样品上，也就是说样品小于光斑，应该放在同一样品杯中，达到相应量，再进行压紧，切不可留有间隙，最后实施相应的分析。针对较薄的样品（如X射线可直接穿透的样品），相同相似小的样品应当堆放一起方便达成最小样品的厚度限制，进而实施相应的分析。一般全部样品都要基于光谱的测量界限内部，基于高分子的样品与较轻金属性，如钛、铝等厚度为5mm的样品；基于液体厚度约15mm的用品；针对其它合金样品的厚度至少应达到1mm。

　　X荧光光谱仪虽具有简单的操作方式，通常大部分都是单独谱线。但基于非常复杂的样品而言，切不可忽略谱线受到的干扰，严重的甚至还会引发更大的干扰。因为存在干扰元素，在实际分析样品的同时，定会形成干扰元素的待测元素和谱线的重合，知识所测出的结果强度较大，最终为分析的结果引来较大的偏差。通常而言，元素谱线遭受的干扰并非十分复杂，先要对常见、极易受到干扰元素谱线的部分、干扰状况等深入了解，然后判断样品测试图谱的同时，重点在于若是存在某种元素，那么应该同时存在许多位置、多条谱线，针对两条谱线以上，如Pb，应该观看PbLa与PbLbl两条谱线，若是真实存在Pb元素，两条谱线将会明显体现出波峰；若是真的含有Pb元素在受到其它干扰元素的影响定会造成其偏大，故两条谱线都会有相对明显的波峰出现，但两条谱线测出的结果定会产生较大的差异。可以通过以下方法进行克服：预防干扰线，选取没有干扰的谱线用做分析线；合理的选取测量仪器的有利条件，使X荧光光谱仪分辨力进一步有所提升；使X光管管电压下降到干扰元素的激发电压下，预防谱线出现干扰元素；在实施数字校正的同时，现代化的仪器设备都具备数字校正的性能。